晶圓再生指的是通過去除損耗控?fù)跗砻娴碾s質(zhì)和缺陷，使處理后的晶圓達(dá)到新片的標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)其循環(huán)再利用，進(jìn)而為企業(yè)節(jié)約大量成本。至微項(xiàng)目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設(shè)計(jì)基礎(chǔ)，是服務(wù)于中國(guó)半導(dǎo)體高階市場(chǎng)的首條投產(chǎn)的12英寸晶圓再生產(chǎn)線。項(xiàng)目全面達(dá)產(chǎn)后，可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗的能力，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值至少可超過6億元。
至純集團(tuán)董事長(zhǎng)蔣淵表示，至純的晶圓再生業(yè)務(wù)在今年3月就已開始試生產(chǎn)，將于本月正式量產(chǎn)，企業(yè)將重研發(fā)，抓質(zhì)量，立志成為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體工藝裝備材料提供商，代表本土品牌參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)。
新站高新區(qū)黨工委書記、管委會(huì)主任王連貴在致辭中指出，將繼續(xù)主動(dòng)為企業(yè)提供精準(zhǔn)服務(wù)，支持企業(yè)發(fā)展，促進(jìn)項(xiàng)目量產(chǎn)后盡早達(dá)產(chǎn)滿產(chǎn)，推動(dòng)合肥集成電路產(chǎn)業(yè)更加高質(zhì)量發(fā)展。
近年來，合肥已成為國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展最快、成效最顯著的城市之一，而新站高新區(qū)則是合肥市“芯屏”產(chǎn)業(yè)的“主陣地”，已成為全國(guó)規(guī)模最大、技術(shù)方向最齊全的新型顯示產(chǎn)業(yè)基地。隨著合肥至微項(xiàng)目1期的量產(chǎn)，新站成為滿足“晶圓再生”需求的重要基地，也為合肥市集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入了新的動(dòng)力。
